兴业证券研报表示，光刻工艺是集成电路制造的关键步骤，光刻机是半导体工业皇冠上的明珠。全球晶圆厂设备开支保持强劲，光刻机需求持续提升。光刻机作为芯片制造光刻环节的核心设备，目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能垄断，实现光刻机的国产替代势在必行，具有重大战略意义。建议持续关注光刻机产业链相关零部件上市公司。